Text

Microlithography: process technology for ic fabrication

Tidak Tersedia Deskripsi

Ketersediaan

2020904446-1 621.381 73 ELL m C/1 Perpustakaan Pusat (Koleksi Tandon) Tersedia namun tidak untuk dipinjamkan - Tersedia (Tidak Dipinjamkan)

Judul Seri -

No. Panggil 621.381 73 ELL m

Penerbit New York, McGraw-Hill, 1986

Deskripsi Fisik xix, 378 hal, ; bibl, ; ind, ; ill, ; 23 cm

Bahasa English

ISBN/ISSN 0-07-019304-5

Klasifikasi 621.381 73

Tipe Isi -

Tipe Media -

Tipe Pembawa -

Edisi -

Subjek MICROLITHOGRAPHY
Photoresists

Info Detail Spesifik Bibliografi: hal. 370 ; Indeks: hal. 371-378

Versi lain/terkait Tidak tersedia versi lain

Pernyataan Tanggungjawab David J. Elliott